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AI掃描電鏡自動成像工作流：飛納電鏡 Phenom SEM AI Agent 執行機制

飛納電鏡 Phenom SEM AI Agent 面向樣品導航、自動對焦、多倍率圖像采集、參數記錄和報告整理等常規掃描電鏡任務。系統通過 Phenom 編程接口 PPI 連接儀器，在不改動硬件的前提下，將自然語言需求轉換為受控任務流程。

其工程結構并非由語言模型直接發送任意儀器指令，而是由語言模型理解任務、選擇流程，再由命令層根據儀器狀態完成保護檢查、指令執行、狀態回讀和日志記錄。

自動成像工作流

任務執行包含四個環節：用戶用文字或語音描述檢測目標；AI智能體調用準備、導航、對焦和采集流程；命令層在發送指令前核驗儀器狀態，并通過PPI執行；系統檢查圖像，保存原圖、參數與帶時間戳的執行記錄。

SEM AI Agent 工作流程及導航、對焦與倍率采集示例

可執行的常規成像任務

樣品導航任務可識別輪廓、完成編號并給出載物臺坐標；自動對焦示例覆蓋大幅離焦、低襯度樣品；倍率序列任務可按照設定倍率采集圖像，并保存HDR、JPEG及對應參數記錄。

資料展示的獨立示例中，10 kV、SED條件下可從500倍至10000倍保存5張圖像；另一頁記錄該5張圖像采集用時為18秒。資料明確指出，導航、對焦和倍率采集為獨立示例，不屬于同一次任務的連續計時。實際執行時間需結合樣品狀態和采集設置驗證。

人工操作與自動執行的差異

傳統流程通常需要人工核對樣品位置、切換倍率、調節對比度、保存命名、記錄參數并整理報告。SEM AI Agent將這些步驟組織為連續任務，并自動生成操作日志、逐圖參數和結果文件。

資料中的人工耗時屬于典型估算，AI耗時屬于對應條件下的實測。抽真空和喚醒速度仍由硬件決定，自動化主要減少重復點擊、控制臺值守和手工記錄。

常規任務的人工操作估算與 SEM AI Agent 實測示例

PPI執行與儀器保護

命令層包含17條受控命令和8套流程，并結合權限控制、日志追蹤和安全條件檢查。系統保留儀器原有的艙門、真空與載物臺保護；工作距離等參數在寫入前核驗允許范圍，寫入后回讀確認。

系統還負責控制權接手與交接。其他用戶占用儀器時不發送操作指令，任務結束后歸還控制權并確認釋放狀態。執行結果通過狀態回讀和操作日志保留，便于核驗與追溯。

SEM AI Agent 的分層執行結構與保護機制

建議的現場驗證項目

評估AI自動成像時，建議使用本單位的常規樣品和困難樣品，分別驗證樣品識別、位置對應、自動對焦、多倍率采集、圖像質量、參數一致性、原圖保存、日志記錄和報告整理。對于共享平臺，還應檢查多人使用時的控制權交接與任務記錄。

飛納電鏡 Phenom SEM AI Agent 更適合步驟明確、重復頻率較高、需要完整記錄的成像任務。疑難樣品判斷、方法選擇和結果解釋仍由專業人員負責。